厚度对DLC薄膜内应力的影响研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S1) : 46-0.

研究与开发

厚度对DLC薄膜内应力的影响研究

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Thickness dependence of internal stress in DLC films

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Received	Revised	Published
2010-08-04	2010-10-14	2011-03-25
Issue Date
2011-03-25

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