新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (09) : 1722-1726.

研究与开发

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Deposition of polycrystalline diamond films by a new type MPCVD reactor at high power density

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Received	Revised	Published
2011-02-28	2011-03-31	2011-09-20
Issue Date
2011-09-20

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