紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响

紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响

付爽;胡龙龙;孟庆伟

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (09) : 1657-1659.

研究与开发

紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响

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