Si(111)衬底上HVPE GaN厚膜生长

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (03) : 33-0.

研究与开发

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GaN thick films Growth on Si(111) by Hydride Vapour Phase Epitaxy

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Received	Revised	Published
2010-08-09	2010-08-24	2011-03-25
Issue Date
2011-03-25

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