硅薄膜中的结构缺陷研究进展

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (S1) : 1-0.

综述

硅薄膜中的结构缺陷研究进展

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Research progress of structure defects in silicon thin films

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Received	Revised	Published
2010-03-23	2010-03-22	2010-06-25
Issue Date
2010-06-25

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