Si 衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (07) : 3-0.

研究与开发

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Research of Magnetron Sputtering MgO Thin Films on Si

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Received	Revised	Published
2009-12-07	2010-01-11	2010-07-25
Issue Date
2010-07-25

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