MOCVD制备SiC：Al薄膜的导电类型调控研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (07) : 14-0.

研究与开发

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Growth control on the conduction type of SiC:Al films with MOCVD method

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Received	Revised	Published
2009-12-14	2010-03-02	2010-07-25
Issue Date
2010-07-25

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