离子束溅射沉积Fe/Si多层膜法合成beta-FeSi2薄膜的研究

功能材料 ›› 2010, Vol. 41 ›› Issue (05) : 25-0.

研究与开发

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Research on beta-FeSi2 thin films from Fe/Si multilayers deposited by ion beam sputtering

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Received	Revised	Published
2009-10-19	2009-11-21	2010-05-25
Issue Date
2010-05-25

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