溅射功率密度对IZrO薄膜的结构与性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2026.09.012

功能材料 ›› 2026, Vol. 57 ›› Issue (9) : 86-90. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2026.09.012

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溅射功率密度对IZrO薄膜的结构与性能的影响

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Effect of sputtering power density on structure and properties of IZrO thin films

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2026-03-15	2026-05-16	2026-09-30
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2026-10-15

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