氧化铪薄膜的制备、调控与应用研究进展

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2025.11.006

功能材料 ›› 2025, Vol. 56 ›› Issue (11) : 11040-11047. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2025.11.006

综述·进展

氧化铪薄膜的制备、调控与应用研究进展

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Advances in the preparation, modulation and application of hafnium oxide ferroelectric thin films

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Received	Revised	Published
2025-03-23	2025-05-22	2025-11-30
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2025-12-04

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