氮化铝薄膜ⅢB族元素掺杂的研究进展

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2025.07.006

功能材料 ›› 2025, Vol. 56 ›› Issue (7) : 7035-7043. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2025.07.006

综述·进展

氮化铝薄膜ⅢB族元素掺杂的研究进展

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Research progress on doping of aluminum nitride films with Group ⅢB elements

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Received	Revised	Published
2024-11-11	2024-12-12	2025-07-30
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2025-08-01

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