Cu CMP平坦化中螯合剂与氧化剂的协同作用

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (S2) : 4-0.

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Synergistic effect of chelating agent and oxidant on Cu CMP planarization

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Received	Revised	Published
2015-04-27	2015-06-26	2015-12-29
Issue Date
2015-12-29

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