InAs/GaSb超晶格红外探测器台面的ICP刻蚀研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (01) : 1-0.

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Study of Mesa Etching for InAs/GaSb Superlattice Infrared Detector using ICP System

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Received	Revised	Published
2013-03-25	2013-05-02	2014-01-15
Issue Date
2014-01-15

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