CCP/ICP混合放电C4F8/Ar等离子体高、低频功率对AZO薄膜绒面效果的影响

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (05) : 744-747.

工艺 ·技术

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Effect of high-frequency and low-frequency power of ICP/CCP C4F8/Ar plasma on the textured structure of AZO films

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Received	Revised	Published
2012-08-21	2012-11-23	2013-03-15
Issue Date
2013-03-15

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