新型碱性阻挡层抛光液在300mm铜布线平坦化中的应用

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (23) : 16-0.

研究与开发

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Study of a novle alkaline barrier slurry applied in copper chemical mechanical planarization

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Received	Revised	Published
2012-06-11	2012-06-26	2012-12-15
Issue Date
2012-12-15

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