铟锡氢氧化物的煅烧温度对ITO靶材结构性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2025.01.027

功能材料 ›› 2025, Vol. 56 ›› Issue (1) : 1209-1216. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2025.01.027

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铟锡氢氧化物的煅烧温度对ITO靶材结构性能的影响

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Effect of calcination temperature of indium tin hydroxide on structure and properties of ITO target

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2024-06-17	2024-11-08	2025-01-30
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2025-02-13

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