分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.09.006

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (9) : 9027-9030. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.09.006

综述·进展

分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段

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The progress of organic molecular nanolayers ascopper diffusion barriers,part 2: characterization techniques

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2015-06-20	2016-09-30
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2016-09-30

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